- (Tech) phép in mặt bằng tia điện tử, phép quang khắc bằng tia điện tử
Từ điển kỹ thuật
Lĩnh vực: điện lạnh
- khắc bằng chùm điện tử
Cụm từ
- electron beam lithography machine: Từ điển kỹ thuậtLĩnh vực: điện tử & viễn thôngmáy in litô bằng chùm điện tử
- projection electron-beam lithography: Từ điển kỹ thuậtLĩnh vực: điện tử & viễn thôngsự in litô chiếu chùm êlectron
- raster scan electron beam lithography: Từ điển kỹ thuậtLĩnh vực: vật lýphương pháp in litô dùng chùm electron quét mành